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1、真空泵操作面板報警顯示DP Speed是什么意思
2、真空泵操作面板報警顯示BUFD LOW Speed是什么意思
3、更換新真空泵Nod Address 設定相應地址，中腔的地址是
4、腔室一分鐘保壓漏率范圍
5、真空泵操作面板報警顯示Exh pressure是什么意思
6、更換氣動閥后必須對該氣動閥進行保壓，確保漏率無異常后方可恢復生產(chǎn)。
7、注液完成將H2O用量清零，重新開始計數(shù)。
8、補液需及時點檢，務必在上述條件達到之前及時注液，避免純水不足影響工藝過程，造成大量返工。
9、打開純水水閥，手閥需緩開，打開至四分之二即可，源瓶內(nèi)部為負壓狀態(tài)，負壓使源瓶產(chǎn)生吸力，避免注水過程無法控制水量。
10、首次注液V1213\V1208\VS101三處氣動閥需對點檢查，確保控制的氣動閥正確無錯誤。
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